wafer-scale seamless epitaxy
Epitaxial growth of wafer-scale single-crystal MoS₂ monolayers on commercial sapphire substrates enabled by buffer layer control, paving the way for industrial 2D semiconductors.
Li, Lu · Wang, Qinqin · Wu, Fanfan · Xu, Qiaoling · Tian, Jinpeng · Huang, Zhiheng · Wang, Qinghe · Zhao, Xuan · Zhang, Qinghua · Fan, Qinkai · Li, Xiuzhen · Peng, Yalin · Zhang, Yangkun · Zhi, Aomiao · Huacong, Sun · Zhu, Mingtong · Zhu, Jundong · Lu, Nianpeng · Lu, Ying · Wang, Shuopei · Bai, Xuedong · Xu, Yang · Yang, Wei · Li, Na · Shi, Dongxia · Xian, Lede · Liu, Kaihui · Du, Luojun · Zhang, Guangyu
Nature Communications 2024
2-inch wafer-scale single-crystal MoS₂ monolayer
on/off ratio ~10⁹